產(chǎn)品[
日本YAMATO等離子清洗機IV600
]資料
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產(chǎn)品名稱:
日本YAMATO等離子清洗機IV600
產(chǎn)品型號:
IV600
產(chǎn)品展商:
YAMATO
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
日本YAMATO等離子清洗機IV600
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日本YAMATO等離子清洗機IV600的詳細介紹
日本YAMATO等離子清洗機IV600:
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IV600(Magazineto Magazine process)
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MagazinetoMagazineplasma process
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Specifications
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Model
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IV600
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Plasmamethod
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RIE
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Electrodestructure
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ForMagazinecorrespondence electrode structure
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RFgenerator
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100-600W
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Oscillatingfrequency
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13.56MHz
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Controlsystem
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LCDtouchpanelwith PLC
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Chambersize
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(W)230×(D)400×(H)200mm
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Chambermaterial
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Aluminum
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Reactiongas
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O2,Ar
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Purge gas
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N2orDryair
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Flow meter
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Mass flowcontrol2line
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Vacuumpump
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1000L/min
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Gas system
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2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
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Externaldimension
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(W)1,000×(D)900×(H)970mm
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Powersupply
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AC200/220/380V3phase 10A
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