產(chǎn)品[
日本YAMATO等離子清洗機(jī)CV600
]資料
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產(chǎn)品名稱(chēng):
日本YAMATO等離子清洗機(jī)CV600
產(chǎn)品型號(hào):
CV600
產(chǎn)品展商:
YAMATO
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
日本YAMATO等離子清洗機(jī)CV600
CV600
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日本YAMATO等離子清洗機(jī)CV600的詳細(xì)介紹
日本YAMATO等離子清洗機(jī)CV600：
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CV600
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Specifications
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Model
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CV600
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Plasmamode
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RIE ? DP
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Electrode
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Parallelflatstage plate
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RFgeneratorpower
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100 - 600W
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Oscillating
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13.56MHz
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Controlsystem
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Digitaldisplayand one touch control
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Chamber
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(W) 310 x (D)220x (H) 140mm
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Electrodestage
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(W) 230 x(D)140mm
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Chambermaterial
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SUS
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Reactiongas
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O2,Ar
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Purge gas
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N2 orDryair
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Flow meter
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Flow meter
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Vacuumpump
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Vacuumpump(120L/min)
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Gas system
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2 line andpurgeline
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Externaldimensions
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(W) 480 x (D)500x(H) 1,065mm
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Powersupply(50/60Hz)
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AC200/220/380VThree phase 7A
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