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產(chǎn)品[

ULVAC蒸發(fā)裝置

]資料
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產(chǎn)品名稱: ULVAC蒸發(fā)裝置
產(chǎn)品型號(hào): VPC-1100/VPC-060/VPC-060A
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC蒸發(fā)裝置 蒸發(fā)裝置 VPC-1100 / VPC-060 / VPC-060A


ULVAC蒸發(fā)裝置的詳細(xì)介紹

 

ULVAC蒸發(fā)裝置

 



 

 

高速型真空蒸發(fā)裝置

VPC-1100



 

 

 

 

VPC-1100(高速型)

 

極限壓力

1.3X10-4(使用液氮時(shí))

排氣時(shí)間

10分鐘內(nèi)可從大氣壓抽至10-4Pa(使用液氮時(shí))

玻璃罩

PYREX制耐熱玻璃 φ390mm×H350?mm

蒸發(fā)用電源

0?10V MAX150A

排氣系統(tǒng)

6英吋D.P.1100L/sec擴(kuò)散泵(ULK-060A)
GLD-201A 2
臺(tái) 400L/min
6
英寸液氨冷阱  

操作系統(tǒng)

排氣手動(dòng)操作

壓力測(cè)定系統(tǒng)

皮拉尼真空計(jì) GP-1S

電源

 200V 5kVA
 100V 1kVA

所要水量

200kPa1.5L/min(水溫:20℃、水圧:200?300kPa

重量

45kg

外形尺寸

325mm(長(zhǎng))×450mm()×700mm()

附屬品

3φ200V帶包層接頭4m
1φ 100V
帶地線、帶電容器



 

*另有豐富的選購(gòu)件。詳情請(qǐng)參考樣本。
*
還有渦輪分子泵、渦選型干泵可供選擇。情聞?dòng)崱?/span>

 



 

 

小型高真空蒸發(fā)裝置

VPC-060/VPC-060V/VPC-260/VPC-410



 

 

 

 

VPC-060(空冷型)

 

極限壓力

6.6X10-4(使用液氮時(shí))

排氣時(shí)間

20分鐘內(nèi)抽至1.3X10-3Pa(使用液氮時(shí))

蒸發(fā)用電源

0?10V MAX150A

所要電力

100Vφ0.6kVA(主機(jī))
200V
φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點(diǎn)式

重量

22kg

外形尺寸

350mm(長(zhǎng))×320mm()×662mm()

選購(gòu)件

1.夾具
2
.鐘罩套
3
.油霧過(guò)濾器(OMT-050A)
4
.真空計(jì)

*
請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購(gòu)件



 

 

 

 

VPC-060A(空冷自動(dòng)型)

 

極限壓力

6.6X10-4(使用液氮時(shí))

排氣時(shí)間

20分鐘內(nèi)抽至1.3X10-3Pa(使用液氮時(shí))

蒸發(fā)用電源

0?10V MAX150A

所要電力

100Vφ0.6kVA(主機(jī))
200V
φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點(diǎn)式

重量

22kg

外形尺寸

350mm(長(zhǎng))×320mm()×662mm()

選購(gòu)件

1.夾具
2
.鐘罩套
3
.油霧過(guò)濾器(OMT-050A)
4
.真空計(jì)

*
請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購(gòu)件



 

 


VPC-060



 

 

 

 

VPC-260F(空冷型)

 

極限壓力

6.6X10-4(使用液氮時(shí))

排氣時(shí)間

20分鐘內(nèi)抽至1.3X10-3Pa(使用液氮時(shí))

蒸發(fā)用電源

0?10V MAX150A

所要電力

100Vφ1.35kVA(主機(jī))
200V
φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點(diǎn)式

重量

75kg

外形尺寸

530mm(長(zhǎng))×480mm()×1135mm()

選購(gòu)件

12點(diǎn)式蒸發(fā)電極
2
.特殊2點(diǎn)式蒸發(fā)電極
3
3點(diǎn)式蒸發(fā)電極
4
.鐘罩套
5
.鐘罩升降機(jī)構(gòu)
6
.金屬鐘罩ABCD
7
.基板加熱組(?350℃MAX
8
.石墨電極器
9
.內(nèi)部夾具
10
.油霧過(guò)濾器(OMT-100A
11
.排氣口過(guò)濾器(OMI-100
12
.真空計(jì)
*
請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購(gòu)件



 

 

 

 

VPC-410(水冷型)

 

極限壓力

6.6X10-4(使用液氮時(shí))

排氣時(shí)間

8分鐘內(nèi)抽至1.3X10-3Pa(使用液氮時(shí))

蒸發(fā)用電源

0?10V MAX150A

所要電力

200Vφ1.35kVA(主機(jī))
200V
φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點(diǎn)式

所要水量

2L/min

重量

80kg

外形尺寸

530mm(長(zhǎng))×480mm()×1180mm()

選購(gòu)件

12點(diǎn)式蒸發(fā)電極
2
.特殊2點(diǎn)式蒸發(fā)電極
3
3點(diǎn)式蒸發(fā)電極
4
.鐘罩套
5
.鐘罩升降機(jī)構(gòu)
6
.金屬鐘罩ABCD
7
.基板加熱組(?350℃MAX
8
.石墨電極器
9
.內(nèi)部夾具
10
.油霧過(guò)濾器(OMT-200A
11
.排氣口過(guò)濾器(OMI-200
12
.真空計(jì)
*
請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購(gòu)件



 

 


VPC-410



 

 

*另有豐富的選購(gòu)件。詳情請(qǐng)參考樣本。
*
可選擇渦輪分子泵/渦選型干泵 情聞?dòng)崱?/span>
*
另有有機(jī)EL實(shí)驗(yàn)用特型規(guī)格。請(qǐng)聞?dòng)崱?/span>



 

 

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